レジスト コーティング - 生来

レジスト コーティング - 生来

コンマコーティングとスロットダイコーティング、高速安定性、精密製造コーティング精度: 0.005 mm コーティング速度: Max. 5 m/min
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説明

製品詳細

 

レジスト コーティング マシンは、お客様向けに当社が開発およびカスタマイズした小型から中型のコーティング システムです。-高精度のモジュール設計が特徴です。巻き出しユニット、コンマコーティングユニット、スロットダイコーティングユニット、UV硬化ユニット、ラミネート&引き上げユニット、現像&洗浄ユニット、エッチング&洗浄ユニット、巻取りユニットを備えています。巻き戻しとエッジ修正の後、材料はコーティング ユニットに入り、そこでコンマ ブレード コーティングとスロット ダイ コーティングを自由に切り替えることができます。{6}}その後、UV硬化装置で硬化し、現像洗浄、エッチング洗浄を経て、最後に引っ張り、エッジ修正を行って巻き取ります。パイロット プロセス パラメータや小規模バッチ生産に適しています。-

 

コーティング工程

 

コンマブレードコーティング

高精度制御: コンマ ブレードは、ブレードとバックアップ ロールの間のギャップを通じてコーティングの厚さを正確に制御する精密計量ローラーであり、高粘度の液体に最適です。-

厚塗り能力:コンマブレードは通常のブレードに比べて厚塗りに適しています。

優れた平坦性:剛性の高いブレード構造と回転運動により、基板表面の凹凸を効果的に除去し、均一な塗膜を実現します。

スロット-ダイ コーティング

高精度の膜厚制御-: スロット-ダイヘッドは押出-タイプの定量供給を使用しており、優れた膜厚均一性でドライおよびウェットのコーティング厚を安定かつ正確に制御します。極薄-から中厚さ-のコーティング、および低粘度、中粘度-、高-のスラリーに適応します。

高速連続コーティング: 高効率の連続高速ロールツーロール生産に適しており、大規模な工業的大量生産に適合し、広いコーティング速度範囲を提供します。-

優れたコーティング均一性: 膜厚の変動は横方向と縦方向の両方で小さく、ブレード コーティングによく見られる縞や傷がなく、高い完成品歩留まりを実現します。-

高いスラリー利用率: 密閉チャンバーの供給により、スラリーの損失が減り、揮発や汚染が制限されるため、溶媒を含み、酸化しやすく、価値の高い機能性スラリー{{1}に適しています。-

幅広い基材適応性: フィルム、銅箔、アルミ箔、不織布などのさまざまなフレキシブル基材にコーティングでき、基材表面の平坦性に対する許容度が高くなります。-

 

コアパラメータ

 

電源

三相 AC 380 V ±10%、50 Hz、22 kW

空気供給

0.5~0.8MPaの圧縮空気

塗装方法

コンマ ブレード + スロット-ダイ コーティング

ガイドローラー幅

500mm

塗布幅

0~400mm

機械的速度

7m/分

塗布速度

最大. 5 m/分

塗装精度

0.005mm

硬化温度

0~100度

重さ

約. 2500 kg (実際の重量に応じて異なります)

機械の寸法

長さ 6000 mm × 幅 1050 mm × 高さ 1850 mm (実際の寸法の場合があります)

 

製品特徴

 

デュアルコーティングモード切り替え: このレジストコーティング装置は、コンマブレードユニットとスロットダイコーティングユニットを革新的に統合しており、プロセス要件に応じて自由に切り替えることができ、装置の汎用性が大幅に向上します。{0}

フルプロセスのフォトリソグラフィ統合: レジスト コーティング装置はコーティングだけでなく、UV 硬化、現像洗浄、エッチング洗浄ユニットをカバーし、レジスト コーティングからパターン加工までの単一ラインの自動化を実現します。-

ミクロンレベルの精度制御: このレジスト塗布装置は高精度モジュール設計を採用しており、塗布精度は 0.005 mm で安定して制御されており、レジスト層の均一性と一貫性が確保されています。-

効率的な UV 硬化システム: このレジスト コーティング マシンには、温度制御範囲が 0 ~ 100 度の UV 硬化ユニットが組み込まれており、レジストの露光と硬化反応が迅速に完了します。-

コンパクトなパイロット-スケール設計: レジスト コーティング マシンの全長はわずか 6000 mm、重量は約 2500 kg、設置面積が小さいため、研究室や研究開発センターでの小規模バッチの試作に最適です。-

柔軟な幅適応:このレジスト塗布装置は、500 mmのガイドローラー幅と0〜400 mmの有効塗布幅を提供し、さまざまなサイズの基板の研究開発ニーズに柔軟に対応します。

 

アプリケーションと産業

 

フラット パネル ディスプレイ(FPD)業界、PCB/FPC 回路基板業界、半導体製造業界、微小電気機械システム(MEMS)、光学部品業界、研究機関や大学。{0}

 

カスタマイズサービス

 

カスタム塗装機のリーダーとして、巻出ユニット、塗布ヘッドユニット、硬化ユニット、巻取ユニット、伝送・フレームユニット、電気制御・検査ユニットなどあらゆるコンポーネントのカスタマイズをサポートします。

 

よくある質問

 

Q:このレジスト塗布機の塗布方法の特徴は何ですか?

A: コンマブレードユニットとスロットダイコーティングユニットの両方を搭載しており、プロセス要件に応じて任意に切り替えることができます。{0}

Q: 機械の最大有効コーティング幅はどれくらいですか?

A: ガイドローラー幅は500mm、有効塗布幅は0~400mmです。

Q: どのような硬化方法が使用され、温度範囲はどれくらいですか?

A: UV硬化ユニットを使用しており、温度制御範囲は0〜100度です。

Q: コーティングと硬化以外に、機械にはどのような後処理機能が含まれていますか?{0}}

A: 現像洗浄ユニットとエッチング洗浄ユニットも統合されており、パターン加工を直接完了することができます。

Q: 機械の機械的動作速度はどれくらいですか?

A: 機械速度は 7 m/min、最大コーティング速度は 5 m/min です。

 

製品詳細画像

 

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